サムスンディスプレイは2021年に稼動予定の量子ドット（QD）ディスプレイの生産ラインQ1に誘導結合プラズマ（ICP、Inductively Coupled Plasma）ドライエッチング装置7台を用意する計画だ。韓国ジエレックが報じた。
供給元は韓国の子供ICDとウォンイクIPS、東京エレクトロン（TEL）の3社から選ばれる見通しのよだ。
サムスンディスプレイは忠南牙山2キャンパスA2工場とA3・A4工場でそれぞれ5.5世代（1.3mx 1.5m）と第6世代（1.5mx 1.85m）基板用ICPエッチング装置を量産ラインに適用し、中小型有機発光ディスプレイ（OLED ）のポリシリコン（LTPS）薄膜トランジスタ（TFT）を作っている。 サムスンディスプレイが第8世代（2.2m x 2.5m）ICPエッチング装置でオキサイド（oxide）TFTを作るのはQDディスプレイの生産ラインが初とのこと。
業界関係者は、「開発チームでは、東京エレクトロンを押しているが、購入チームでは納入実績が良いICDを好んでいる」とし「購入の決定権は、最終的には購入のチームにある」と述べたという。
